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一般社団法人日本機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
流体工学部門
熱工学部門
機械材料・材料加工部門
情報・知能・精密機器部門
部門登録者 各位
マイクロ・ナノ工学部門
部門長 中別府 修
No.21-126 講習会
「マイクロ・ナノファブリケーション講習会 ‐エッチング加工によるマイクロ・ナノデバイス作製‐」開催のご案内
先日ご案内致しました通り，本部門では下記日程にて講習会を開催致します。
申込締切まで残り10日余りとなりましたが，定員枠に余裕がございますので，ご参加検討を改めてお願い申し上げますとともに，ご関係各位へもご周知いただければ幸いに存じます。
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No. 21-126 講習会
「マイクロ・ナノファブリケーション講習会 ‐エッチング加工によるマイクロ・ナノデバイス作製‐」
https://www.jsme.or.jp/event/21-126/
[企 画] マイクロ・ナノ工学部門
[開催日] 2022年2月15日(火)～2月17日（木）
[開催形態] オンライン開催（オンデマンド配信，ライブ配信（Zoom Meetingを利用））
※ミーティングIDとパスワード，電子ファイル教材についてのご連絡は，開催前日を予定しています。
[趣 旨]
マイクロ・ナノデバイスの開発において，基板のエッチング加工を利用したデバイス作製技術は重要な位置を占めており，世界中で広く用いられている。しかし，所望のデバイスを作製するためには加工法の基本原理と精密加工装置の活用方法の理解が必須であり，敷居の高さの１つの要因となっている。そこで，本講習会では，精密加工装置を活用したマイクロ・ナノデバイス作製プロセスの習得を狙い，本分野についての専門知識とノウハウを有する講師による微細加工技術の講習を行う。新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設「NANOBIC」の精密加工装置を例にとり，作製プロセスの基礎知識および装置の活用事例をオンラインで学ぶ。また、精密加工装置についての技術相談や交流会もオンラインで実施する。
[プログラム]
2月15日（火）9:00～2月17日（木）16:30（オンデマンド配信）
【技術講演: 精密微細加工の原理と装置の活用事例】
発表 各60分 程度
「レーザー直接描画とフォトマスク作製」
東京工業大学 山本 貴富喜 准教授
「シリコンDRIE装置の原理と応用事例」
早稲田大学 関口 哲志 研究院教授
「高密度プラズマドライエッチング装置によるガラスエッチング」
東京工業大学 塚原 剛彦 教授
「ウエットエッチングの基礎と応用」
株式会社日立アカデミー 小出 晃 主任L&Dプランナ
「プラズマを活用したデバイス材料の接合」
古賀総研 河野 顕臣 シニアエキスパート
2月17日（木）16:30～18:00（Zoom Meeting）
【精密加工装置の紹介および技術相談】
「NANOBICオープンラボにおける精密加工装置」
東京大学 三宅 亮 教授
[定員]
15名程度
[申込締切]
1月31日（月）
[聴講料（いずれも税込）]
正員8,000円，会員外13,000円，学生員2,000円，一般学生5,000円
申込方法等の詳細は下記URLをご参照下さい．
https://www.jsme.or.jp/event/21-126/
[参加に関しての問合先]
日本機械学会 大通千晴
E-mail: daitsu(at)jsme.or.jp 電話03-4335-7614
[内容についての問合先]
嘉副裕
E-mail: kazoe(at)sd.keio.ac.jp 電話045-566-1843 |
