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一般社団法人日本機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
流体工学部門
熱工学部門
機械材料・材料加工部門
情報・知能・精密機器部門
部門登録者 各位
マイクロ・ナノ工学部門
部門長 三宅 亮
No.21-18 講習会
「マイクロ・ナノファブリケーション講習会 ‐最先端マイクロ・ナノ加工技術の基礎と活用事例‐」
開催のご案内
先日ご案内致しました通り，本部門では下記日程にて講習会を開催致します。
申込締切まで残り1週間となりましたが，定員枠に若干の余裕がございますので，ご参加検討を改めてお願い申し上げますとともに，ご関係各位へもご周知いただければ幸いに存じます。
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No. 21-18 講習会
「マイクロ・ナノファブリケーション講習会 ‐最先端マイクロ・ナノ加工技術の基礎と活用事例‐」
https://www.jsme.or.jp/event/21-18/
[企 画] マイクロ・ナノ工学部門
[開催日] 2021年3月10日（水），3月11日（木）
[開催形態] オンライン開催（オンデマンド配信，Zoom Meetingを利用したライブ配信）
※ミーティングIDとパスワード，電子ファイル教材についてのご連絡は，開催約1週間前を予定しています。
[趣 旨]
精密加工装置を活用したマイクロ・ナノデバイス作製プロセスの習得を狙い，プロセスの中でも基本的かつ重要なレジスト塗布，リソグラフィ，ドライエッチング，マイクロモールディング，デバイス接合の講習を行う。マイクロ・ナノデバイス開発において精密微細加工は必須であるが，所望のデバイスを作製するには加工法の原理および精密加工装置の活用方法の理解が極めて重要である。そこで，本講習会では，新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設「NANOBIC」の精密加工装置を例にとり，作製プロセスの基礎知識および装置の活用事例をオンラインで学ぶ。また，精密微細加工についての専門知識とノウハウを有する講師との質疑応答・技術相談をオンラインで実施する。
[プログラム]
3月10日（水）9:00～3月11日（木）15:00 （オンデマンド配信）
【技術講演: 精密微細加工の原理と装置の活用事例】
発表 各60分 程度
「レーザー直接描画とフォトマスク作製」
東京工業大学大学院 山本 貴富喜 准教授
「マイクロ加工のためのレジスト膜の均一・全自動塗布」
慶應義塾大学 田口 良広 教授
「シリコン深堀りDRIE装置の原理と応用事例」
早稲田大学 関口 哲志 研究院教授
「マイクロモールディングによるマイクロ流路作製」
東京大学 三宅 亮 教授
「プラズマを活用したデバイス材料の接合」
古賀総研 河野 顕臣 シニアエキスパート
3月11日（木）15:00～16:30 （Zoom Meetingを利用したライブ配信）
【講師との質疑応答・技術相談】
[定員]
20名程度
[申込締切]
3月3日（水）
[聴講料（いずれも税込）]
正員8,000円，会員外13,000円，学生員2,000円，一般学生5,000円
申込方法等の詳細は下記URLをご参照下さい．
https://www.jsme.or.jp/event/21-18/
[参加に関しての問合先]
日本機械学会 大通千晴
E-mail: daitsu@jsme.or.jp 電話03-5360-3504
[内容についての問合先]
嘉副裕
E-mail: kazoe@sd.keio.ac.jp 電話045-566-1843 |
